Установка для химического осаждения из газовой фазы (CVD): трубчатая печь на 1600 °C, газовые линии с расходомерами и вакуумный тракт в одном комплексе. Диаметр труб Ø50–100 мм; зона 260 или 600 мм; газовых линий 3. Фланцы быстросъёмные, футеровка из муллитового волокна вакуумной формовки, нагрев по программе.
Артикулы в серии
| Исполнение \ Объём | Ø50 мм | Ø60 мм | Ø80 мм | Ø100 мм |
|---|---|---|---|---|
| Стандартное, 1 зона | KADAMM МПТ-16-50-CVD | KADAMM МПТ-16-60-CVD | KADAMM МПТ-16-80-CVD | KADAMM МПТ-16-100-CVD |
| Сенсорная — С, 1 зона | KADAMM МПТ-16-50С-CVD | KADAMM МПТ-16-60С-CVD | KADAMM МПТ-16-80С-CVD | KADAMM МПТ-16-100С-CVD |
| Стандартный вариант, 2 зоны (труба 1200 мм) | — | KADAMM МПТ-16-60-2-CVD | KADAMM МПТ-16-80-2-CVD | KADAMM МПТ-16-100-2-CVD |
| Сенсорная — С, 2 зоны | — | KADAMM МПТ-16-60С-2-CVD | KADAMM МПТ-16-80С-2-CVD | KADAMM МПТ-16-100С-2-CVD |
Артикул складывается так: серия + Ø трубы + [С] + [-2] + CVD. Скопируйте его и пришлите на info@kadamm.com.
Что это за серия
KADAMM МПТ-16-CVD — CVD-установки на основе трубчатой печи с пределом 1600 °C. Рабочую трубу из кварца или корунда вставляют в печь с футеровкой из поликристаллического муллитового волокна; греют её стержни из дисилицида молибдена (MoSi2), температуру измеряет термопара типа S. Через быстросъёмные фланцы трубу откачивают до −0.1 МПа (форвакуум) или продувают газом, и процесс идёт в управляемой среде.
Газовая часть: до трёх линий с расходомерами и регуляторами массового расхода (MFC); давление на входе 0.05–0.3 МПа. Вакуумный тракт собран на быстросъёмных KF-соединениях. PID-контроллер работает по программе из сегментов и защищает от перегрева и обрыва термопары.
Зона 260 или 600 мм; газовых линий 3. Вакуумный насос подбирают под процесс — обсудите это с менеджером.
Как устроена печь
Технические характеристики
| Параметр | 1 зона | 2 зоны |
|---|---|---|
| Трубы | Ø50/60/80/100×1000 мм | Ø60/80/100×1200 мм |
| Артикулы в стандартном варианте | KADAMM МПТ-16-50-CVD KADAMM МПТ-16-60-CVD KADAMM МПТ-16-80-CVD KADAMM МПТ-16-100-CVD | KADAMM МПТ-16-60-2-CVD KADAMM МПТ-16-80-2-CVD KADAMM МПТ-16-100-2-CVD |
| Артикулы с сенсорным экраном (С) | KADAMM МПТ-16-50С-CVD KADAMM МПТ-16-60С-CVD KADAMM МПТ-16-80С-CVD KADAMM МПТ-16-100С-CVD | KADAMM МПТ-16-60С-2-CVD KADAMM МПТ-16-80С-2-CVD KADAMM МПТ-16-100С-2-CVD |
| Зона нагрева / зона постоянной температуры | 260 мм / 120 мм | 600 мм / 300 мм |
| Камера печи, мм | 440×390×330 | 780×390×330 |
| Мощность | 4 кВт | 10 кВт |
| Диапазон температур | 300–1600 °C | |
| Нагрев пустой печи | ≤15 мин | |
| Давление газа на входе | 0.05–0.3 МПа (изб.) | |
| Газовые каналы | 3 (количество линий меняется под задачу) | |
| Газовая арматура | нержавеющая сталь 316; в сенсорном исполнении экран 7″ на 50 программ и рецептов | |
| Сертификация | декларация соответствия ТР ТС 004/2011 и ТР ТС 020/2011 (ЕАЭС) | |
Буква «С» означает сенсорный экран, «-2» — две зоны. Все артикулы собраны в таблице «Артикулы в серии». Точные значения сообщит менеджер.
Сферы применения
Чем сильна серия
Линейка печей KADAMM
| Параметр | KADAMM МПТ-16-CVD | KADAMM МПТ-16 | KADAMM МПТ-12-CVD | KADAMM МПТ-14-CVD |
|---|---|---|---|---|
| Фото | | |  |  |
| Тип | CVD-система 1600 °C | трубчатая 1600 °C | CVD-система 1200 °C | CVD-система 1400 °C |
| Температура / объём | Ø50–100 мм | Ø50–100 мм | Ø50–100 мм | Ø40–80 мм |
| Исполнения | — / С · 1–2 зоны | — / С · 1–2 зоны | — / С · 1–2 зоны | — / С |
| Нагреватель и питание | 3 газовые линии · 4–10 кВт | зоны 260/600 мм · 4–10 кВт | 3 газовые линии · 3–3.2 кВт | 3 газовые линии · 3–5 кВт |
| Карточка серии | ← Вы здесь | Открыть | Открыть | Открыть |
Конфигуратор заказа
Отметьте модели и количество — спецификация для заявки соберётся автоматически.
Что входит в поставку
- ✓ Печь выбранной модели
- ✓ Рабочая труба в сборе с фланцами и уплотнениями
- ✓ Газовая часть: расходомеры, краны, трубопроводы
- ✓ Паспорт с руководством по эксплуатации и гарантийный талон
- ✓ Сертификаты соответствия
- ✓ Сервис в гарантийный период и после него
- ✓ Сроки и условия гарантии сообщит менеджер
Вопросы и ответы
Статьи по теме
Как мы поставляем и обслуживаем
Поставка
Доставка по всей России
Срок поставки сообщит менеджер
Документация
Полный комплект
Паспорт, инструкция по эксплуатации, документы о соответствии
Сервис
Поддержка и ЗИП
Под заказ: нагреватели, термопары, футеровка, ЗИП
* Фотографии на сайте могут не совпадать с поставляемым изделием: вид зависит от типоразмера, конфигурации и комплектации. Объём камеры, мощность, контроллер и нагреватель определяются исполнением — точные значения приведены в таблице «Технические характеристики».
** Производитель вправе менять характеристики и комплектацию без отдельного уведомления. Перед заказом сверьте данные с менеджером.
Купить KADAMM МПТ-16-CVD
Подберём конфигурацию, пришлём коммерческое предложение и договоримся о сроках.