КАДАММ МПТ-12-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1200 °C, труба Ø50–100 мм

Name: КАДАММ МПТ-12-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1200 °C, труба Ø50–100 мм
Brand: КАДАММ
SKU: МПТ-12-CVD

Производитель:КАДАММ

Артикул: МПТ-12-CVD

Техническое описание МПТ-12-CVD

Каталог KADAMM «Муфельные печи»

Количество

Отправить заявку

KADAMM · Трубчатые печи

KADAMM МПТ-12-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1200 °C, труба Ø50–100 мм

Установка для химического осаждения из газовой фазы (CVD), в которой объединены трубчатая печь на 1200 °C, газовые линии с расходомерами и вакуумный тракт. Диаметр труб Ø50–100 мм; зона нагрева 420 мм, зон одна или две; газовых каналов 3. Фланцы быстросъёмные, футеровка из муллитового волокна вакуумной формовки, нагрев идёт по программе.

Максимум 1200 °CТруба Ø50–100 ммзона 420 мм, одна или две зоны; 3 газовые линииОткачка до −0.1 МПа (форвакуум)

Запросить цену

1200 °C

Максимальная температура

1200 °C

Длительная работа

Ø50–100 мм

Диаметры трубы

−0.1 МПа (форвакуум)

Вакуум

тип S

Термопара

3–3.2 кВт

Мощность

Артикулы в серии

Исполнение \ Объём	Ø50 мм	Ø60 мм	Ø80 мм	Ø100 мм
Стандартное, 1 зона	KADAMM МПТ-12-50-CVD	KADAMM МПТ-12-60-CVD	KADAMM МПТ-12-80-CVD	KADAMM МПТ-12-100-CVD
Сенсорный экран — С, 1 зона	KADAMM МПТ-12-50С-CVD	KADAMM МПТ-12-60С-CVD	KADAMM МПТ-12-80С-CVD	KADAMM МПТ-12-100С-CVD
Стандартное, 2 зоны	KADAMM МПТ-12-50-2-CVD	KADAMM МПТ-12-60-2-CVD	KADAMM МПТ-12-80-2-CVD	KADAMM МПТ-12-100-2-CVD
Сенсорная — С, 2 зоны	KADAMM МПТ-12-50С-2-CVD	KADAMM МПТ-12-60С-2-CVD	KADAMM МПТ-12-80С-2-CVD	KADAMM МПТ-12-100С-2-CVD

Артикул складывается так: серия + Ø трубы + [С] + [-2] + CVD. Скопируйте его и пришлите на info@kadamm.com.

Что это за серия

KADAMM МПТ-12-CVD — CVD-установки на основе трубчатой печи с пределом 1200 °C. Кварцевую рабочую трубу длиной 1000 мм вставляют в печь, футерованную поликристаллическим муллитовым волокном; греет её проволочный нагреватель на участке 420 мм, температуру измеряет термопара типа S. Быстросъёмные фланцы позволяют откачать трубу до −0.1 МПа (форвакуум) или продуть её газом, так что процесс проходит в управляемой среде.

Газовая часть: до трёх линий с расходомерами и регуляторами массового расхода (MFC); давление на входе 0.05–0.3 МПа. Вакуумный тракт собран на быстросъёмных KF-соединениях. PID-контроллер работает по программе из сегментов и защищает от перегрева и обрыва термопары.

Зона нагрева 420 мм, зон одна или две; газовых линий 3. Вакуумный насос подбирают под процесс — обсудите это с менеджером.

В CVD-комплексе печь, газовая обвязка и вакуумный тракт подобраны друг к другу заранее, так что собирать установку из разных узлов самим не придётся.

Как устроена печь

Муллитовая волоконная футеровкаФормуется под вакуумом: ровное температурное поле и расход энергии ниже более чем на 50%.

Фланцы на быстросъёмахТрубу меняют и образцы загружают без инструмента; уплотнения сохраняют вакуум.

Проволочный нагревательНагревательная проволока, зона нагрева 420 мм.

Нагрев по программеPID-регулятор; расход газа по каждой линии виден на цифровом индикаторе.

ЗащитыОт перегрева, обрыва термопары и утечки тока; при аварии печь отключается сама.

Технические характеристики

Параметр	Ø50	Ø60	Ø80	Ø100
Труба (нар./внутр.), мм	Ø50/43×1000	Ø60/53×1000	Ø80/72×1000	Ø100/92×1000
Артикул в стандартном варианте, 1 зона	KADAMM МПТ-12-50-CVD	KADAMM МПТ-12-60-CVD	KADAMM МПТ-12-80-CVD	KADAMM МПТ-12-100-CVD
Артикул с сенсорным экраном (С), 1 зона	KADAMM МПТ-12-50С-CVD	KADAMM МПТ-12-60С-CVD	KADAMM МПТ-12-80С-CVD	KADAMM МПТ-12-100С-CVD
Артикул в стандартном варианте, 2 зоны	KADAMM МПТ-12-50-2-CVD	KADAMM МПТ-12-60-2-CVD	KADAMM МПТ-12-80-2-CVD	KADAMM МПТ-12-100-2-CVD
Артикул с сенсорным экраном (С), 2 зоны	KADAMM МПТ-12-50С-2-CVD	KADAMM МПТ-12-60С-2-CVD	KADAMM МПТ-12-80С-2-CVD	KADAMM МПТ-12-100С-2-CVD
Диапазон температур	300–1200 °C
Зона нагрева / зона постоянной температуры	420 мм / 210 мм (1 зона), 280 мм (2 зоны)
Нагрев пустой печи	≤15 мин
Скорость разогрева с установленной трубой	до 500 °C — ≤5; 500–800 — ≤10; 800–1000 — ≤5; 1000–1200 °C — ≤2 °C/мин
Максимальный вакуум	−0.1 МПа
Давление газа на входе	0.05–0.3 МПа (изб.)
Газовые каналы	3 (количество линий меняется под задачу); цифровые расходомеры
Мощность	3 кВт (1 зона) / 3.2 кВт (2 зоны)
Габариты (Ш×Г×В), мм	770×580×778
Масса	210 кг
Сертификация	декларация соответствия ТР ТС 004/2011 и ТР ТС 020/2011 (ЕАЭС)

Буква «С» означает сенсорный экран, «-2» — две зоны нагрева, «-CVD» — комплекс с газовой частью. Точные значения сообщит менеджер.

Сферы применения

Осаждение плёнок и покрытий (CVD)Покрытия из карбида кремния, оксидов, нитридов; дозирование прекурсоров.

НаноматериалыВыращивание наноструктур (например, ZnO), процессы с графеном.

Спекание в газовой средеМногослойные керамические конденсаторы (MLCC), функциональная керамика.

Наука о материалах и вузыИсследования при высоких температурах в лаборатории.

Небольшие образцыПорошки, гранулы, стекло и керамика в лодочках.

Чем сильна серия

✓

Трубы Ø50–100 мм

✓

Зона 420 мм, одна или две зоны; 3 газовые линии

✓

Откачка до −0.1 МПа (форвакуум) либо продувка газом

✓

Быстросъёмные фланцы

✓

Футеровка, отформованная под вакуумом

✓

Декларация соответствия ТР ТС (ЕАЭС)

Линейка печей KADAMM

Параметр	KADAMM МПТ-12-CVD	KADAMM МПТ-12	KADAMM МПТ-14-CVD	KADAMM МПТ-16-CVD
Фото
Тип	CVD-система 1200 °C	трубчатая 1200 °C, откидная	CVD-система 1400 °C	CVD-система 1600 °C
Температура / объём	Ø50–100 мм	Ø50–100 мм	Ø40–80 мм	Ø50–100 мм
Исполнения	— / С · 1–2 зоны	— / С · 1–2 зоны	— / С	— / С · 1–2 зоны
Нагреватель и питание	3 газовые линии · 3–3.2 кВт	зона 420 мм · 3–3.2 кВт	3 газовые линии · 3–5 кВт	3 газовые линии · 4–10 кВт
Карточка серии	← Вы здесь	Открыть	Открыть	Открыть

Вы смотрите серию МПТ-12-CVD. Рядом в линейке: KADAMM МПТ-12 · KADAMM МПТ-14-CVD · KADAMM МПТ-16-CVD. Поможем подобрать установку под ваш процесс.

Конфигуратор заказа

Отметьте модели и количество — спецификация для заявки соберётся автоматически.

Шаг 1 — Позиции

16 моделей · трубы Ø50–100 мм

Шаг 2 — Спецификация

Итоговый список позиций; печать или сохранение в PDF

Шаг 3 — Заявка

Готовый список на info@kadamm.com

Что входит в поставку

Комплект поставки

✓ Печь выбранной модели
✓ Рабочая труба в сборе с фланцами и уплотнениями
✓ Газовая часть: расходомеры, краны, трубопроводы
✓ Паспорт с руководством по эксплуатации и гарантийный талон
✓ Сертификаты соответствия

Гарантия и документы

✓ Сервис в гарантийный период и после него
✓ Сроки и условия гарантии сообщит менеджер

Вопросы и ответы

Как устроена трубчатая печь?+

Это электропечь, у которой нагреваемое пространство — труба из кварца или керамики. Образец кладут внутрь трубы, а саму трубу продувают газом или откачивают, получая нужную среду. Такие печи используют для отжига, спекания, синтеза материалов, выращивания плёнок и работы с небольшими образцами при 1200–1700 °C.

Какую трубу выбрать?+

Диаметр выбирают по размеру образца или лодочки; труба кварцевая, длиной 1000 мм. Имейте в виду, что равномерно прогретый участок короче самой трубы — его длина указана в строке «зона постоянной температуры» таблицы.

Можно ли подавать в печь газ?+

Да, на фланцах есть газовые порты, а в CVD-исполнении — до трёх линий с расходомерами. Из инертных газов подходят азот и аргон; если нужны горючие или реакционные газы, сначала обсудите это с менеджером.

Как оформить заказ и получить цену?+

Воспользуйтесь кнопкой «Запросить цену» или соберите комплект в конфигураторе. Мы пришлём коммерческое предложение, где указаны стоимость, срок поставки и порядок оплаты. Доставляем в любой регион России.

Какими документами подтверждается соответствие?+

На оборудование серии оформлены документы о соответствии требованиям безопасности.

Для продажи в России и странах ЕАЭС на печи оформляется декларация по ТР ТС 004/2011 «О безопасности низковольтного оборудования» и ТР ТС 020/2011 «Электромагнитная совместимость технических средств».

Статьи по теме

Трубчатая печь и CVD

Процессы, работа с трубой и газом

Вакуумная печь

Принцип работы, виды и применение

Печи на 1400–1800 °C

Нагреватели SiC и MoSi2, термопары, эксплуатация

Как работает муфельная печь

Камера, нагреватели, термопары и классы температур

Закалка и отпуск металла

Температуры, окалина и безопасная работа

Замена СНОЛ и ЭКПС

Как проверить старую печь и подобрать новую

Как мы поставляем и обслуживаем

Поставка

Доставка по всей России

Срок поставки сообщит менеджер

Документация

Полный комплект

Паспорт, инструкция по эксплуатации, документы о соответствии

Сервис

Поддержка и ЗИП

Под заказ: нагреватели, термопары, футеровка, ЗИП

* Фотографии на сайте могут не совпадать с поставляемым изделием: вид зависит от типоразмера, конфигурации и комплектации. Объём камеры, мощность, контроллер и нагреватель определяются исполнением — точные значения приведены в таблице «Технические характеристики».

** Производитель вправе менять характеристики и комплектацию без отдельного уведомления. Перед заказом сверьте данные с менеджером.

Купить KADAMM МПТ-12-CVD

Подберём конфигурацию, пришлём коммерческое предложение и договоримся о сроках.

Запросить цену →

Конфигуратор МПТ-12-CVD

Модель · Количество · Запрос

Параметр	Описание
Артикул	МПТ-12-CVD
Производитель	КАДАММ