КАДАММ МПТ-14-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1400 °C, труба Ø40–80 мм

Name: КАДАММ МПТ-14-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1400 °C, труба Ø40–80 мм
Brand: КАДАММ
SKU: МПТ-14-CVD

Производитель:КАДАММ

Артикул: МПТ-14-CVD

Техническое описание МПТ-14-CVD

Каталог KADAMM «Муфельные печи»

Количество

Отправить заявку

KADAMM · Трубчатые печи

KADAMM МПТ-14-CVD — CVD-система на базе трубчатой печи до 1400 °C, труба Ø40–80 мм

Установка для химического осаждения из газовой фазы (CVD): трубчатая печь на 1400 °C, газовые линии с расходомерами и вакуумный тракт в одном комплексе. Диаметр труб Ø40–80 мм; зона нагрева 200 мм; вакуум в системе 10–100 Па. Фланцы быстросъёмные, футеровка из муллитового волокна вакуумной формовки, нагрев по программе.

Максимум 1400 °CТруба Ø40–80 ммзона 200 мм; вакуум в системе 10–100 ПаОткачка до −0.1 МПа (форвакуум)

Запросить цену

1400 °C

Максимальная температура

1400 °C

Длительная работа

Ø40–80 мм

Диаметры трубы

−0.1 МПа (форвакуум)

Вакуум

тип S

Термопара

3–5 кВт

Мощность

Артикулы в серии

Исполнение \ Объём	Ø40 мм	Ø50 мм	Ø60 мм	Ø80 мм
Стандартное	KADAMM МПТ-14-40-CVD	KADAMM МПТ-14-50-CVD	KADAMM МПТ-14-60-CVD	KADAMM МПТ-14-80-CVD
Сенсорная панель — С	KADAMM МПТ-14-40С-CVD	KADAMM МПТ-14-50С-CVD	KADAMM МПТ-14-60С-CVD	KADAMM МПТ-14-80С-CVD

Артикул складывается так: серия + Ø трубы + [С] + CVD. Скопируйте его и пришлите на info@kadamm.com.

Что это за серия

KADAMM МПТ-14-CVD — CVD-установки на основе трубчатой печи с пределом 1400 °C. Корундовую рабочую трубу вставляют в печь с футеровкой из поликристаллического муллитового волокна; греют её карбидокремниевые стержни (SiC), температуру измеряет термопара типа S. Через быстросъёмные фланцы трубу откачивают до −0.1 МПа (форвакуум) или продувают газом, и процесс идёт в управляемой среде.

Газовая часть: до трёх линий с расходомерами и регуляторами массового расхода (MFC); давление на входе 0.05–0.3 МПа. Вакуумный тракт собран на быстросъёмных KF-соединениях. PID-контроллер работает по программе из сегментов и защищает от перегрева и обрыва термопары.

Зона нагрева 200 мм; вакуум в системе 10–100 Па. Вакуумный насос подбирают под процесс — обсудите это с менеджером.

В CVD-комплексе печь, газовая обвязка и вакуумный тракт подобраны друг к другу заранее, так что собирать установку из разных узлов самим не придётся.

Как устроена печь

Муллитовая волоконная футеровкаФормуется под вакуумом: ровное температурное поле и расход энергии ниже более чем на 50%.

Фланцы на быстросъёмахТрубу меняют и образцы загружают без инструмента; уплотнения сохраняют вакуум.

Стержневые нагревателиКарбидокремниевые стержни (SiC).

Нагрев по программеPID-регулятор; расход газа по каждой линии виден на цифровом индикаторе.

ЗащитыОт перегрева, обрыва термопары и утечки тока; при аварии печь отключается сама.

Технические характеристики

Параметр	Ø40	Ø50	Ø60	Ø80
Артикул в стандартном варианте	KADAMM МПТ-14-40-CVD	KADAMM МПТ-14-50-CVD	KADAMM МПТ-14-60-CVD	KADAMM МПТ-14-80-CVD
Артикул с сенсорной панелью (С)	KADAMM МПТ-14-40С-CVD	KADAMM МПТ-14-50С-CVD	KADAMM МПТ-14-60С-CVD	KADAMM МПТ-14-80С-CVD
Мощность	3 кВт	3 кВт	5 кВт	5 кВт
Диапазон температур	300–1400 °C
Зона нагрева / зона постоянной температуры	200 мм / 70 мм; есть исполнения с зоной 400 мм / 140 мм — по запросу
Нагрев пустой печи	≤15 мин
Вакуум системы	10–100 Па; соединения KF, вакуумный затвор, цифровой вакуумметр
Давление газа на входе	0.05–0.3 МПа (изб.)
Газовые каналы	3 (количество линий меняется под задачу)
Размер трубы	уточняйте у менеджера
Сертификация	декларация соответствия ТР ТС 004/2011 и ТР ТС 020/2011 (ЕАЭС)

Буква «С» означает сенсорный экран. Точные значения сообщит менеджер.

Сферы применения

Осаждение плёнок и покрытий (CVD)Покрытия из карбида кремния, оксидов, нитридов; дозирование прекурсоров.

НаноматериалыВыращивание наноструктур (например, ZnO), процессы с графеном.

Спекание в газовой средеМногослойные керамические конденсаторы (MLCC), функциональная керамика.

Наука о материалах и вузыИсследования при высоких температурах в лаборатории.

Небольшие образцыПорошки, гранулы, стекло и керамика в лодочках.

Чем сильна серия

✓

Трубы Ø40–80 мм

✓

Зона 200 мм; вакуум в системе 10–100 Па

✓

Откачка до −0.1 МПа (форвакуум) либо продувка газом

✓

Быстросъёмные фланцы

✓

Футеровка, отформованная под вакуумом

✓

Декларация соответствия ТР ТС (ЕАЭС)

Линейка печей KADAMM

Параметр	KADAMM МПТ-14-CVD	KADAMM МПТ-14	KADAMM МПТ-12-CVD	KADAMM МПТ-16-CVD
Фото
Тип	CVD-система 1400 °C	трубчатая 1400 °C	CVD-система 1200 °C	CVD-система 1600 °C
Температура / объём	Ø40–80 мм	Ø40–80 мм	Ø50–100 мм	Ø50–100 мм
Исполнения	— / С	— / С	— / С · 1–2 зоны	— / С · 1–2 зоны
Нагреватель и питание	3 газовые линии · 3–5 кВт	SiC · зоны 200/400 мм · 3–5 кВт	3 газовые линии · 3–3.2 кВт	3 газовые линии · 4–10 кВт
Карточка серии	← Вы здесь	Открыть	Открыть	Открыть

Вы смотрите серию МПТ-14-CVD. Рядом в линейке: KADAMM МПТ-14 · KADAMM МПТ-12-CVD · KADAMM МПТ-16-CVD. Поможем подобрать установку под процесс.

Конфигуратор заказа

Отметьте модели и количество — спецификация для заявки соберётся автоматически.

Шаг 1 — Позиции

8 моделей · трубы Ø40–80 мм

Шаг 2 — Спецификация

Итоговый список позиций; печать или сохранение в PDF

Шаг 3 — Заявка

Готовый список на info@kadamm.com

Что входит в поставку

Комплект поставки

✓ Печь выбранной модели
✓ Рабочая труба в сборе с фланцами и уплотнениями
✓ Газовая часть: расходомеры, краны, трубопроводы
✓ Паспорт с руководством по эксплуатации и гарантийный талон
✓ Сертификаты соответствия

Гарантия и документы

✓ Сервис в гарантийный период и после него
✓ Сроки и условия гарантии сообщит менеджер

Вопросы и ответы

Как устроена трубчатая печь?+

Это электропечь, у которой нагреваемое пространство — труба из кварца или керамики. Образец кладут внутрь трубы, а саму трубу продувают газом или откачивают, получая нужную среду. Такие печи используют для отжига, спекания, синтеза материалов, выращивания плёнок и работы с небольшими образцами при 1200–1700 °C.

Какую трубу выбрать?+

Диаметр выбирают по образцу или лодочке; труба корундовая. Равномерно прогретый участок короче трубы — его длина приведена в строке «зона постоянной температуры» таблицы.

Можно ли подавать в печь газ?+

Да, на фланцах есть газовые порты, а в CVD-исполнении — до трёх линий с расходомерами. Из инертных газов подходят азот и аргон; если нужны горючие или реакционные газы, сначала обсудите это с менеджером.

Как оформить заказ и получить цену?+

Воспользуйтесь кнопкой «Запросить цену» или соберите комплект в конфигураторе. Мы пришлём коммерческое предложение, где указаны стоимость, срок поставки и порядок оплаты. Доставляем в любой регион России.

Какими документами подтверждается соответствие?+

На оборудование серии оформлены документы о соответствии требованиям безопасности.

Для продажи в России и странах ЕАЭС на печи оформляется декларация по ТР ТС 004/2011 «О безопасности низковольтного оборудования» и ТР ТС 020/2011 «Электромагнитная совместимость технических средств».

Статьи по теме

Трубчатая печь и CVD

Процессы, работа с трубой и газом

Вакуумная печь

Принцип работы, виды и применение

Печи на 1400–1800 °C

Нагреватели SiC и MoSi2, термопары, эксплуатация

Как работает муфельная печь

Камера, нагреватели, термопары и классы температур

Закалка и отпуск металла

Температуры, окалина и безопасная работа

Замена СНОЛ и ЭКПС

Как проверить старую печь и подобрать новую

Как мы поставляем и обслуживаем

Поставка

Доставка по всей России

Срок поставки сообщит менеджер

Документация

Полный комплект

Паспорт, инструкция по эксплуатации, документы о соответствии

Сервис

Поддержка и ЗИП

Под заказ: нагреватели, термопары, футеровка, ЗИП

* Фотографии на сайте могут не совпадать с поставляемым изделием: вид зависит от типоразмера, конфигурации и комплектации. Объём камеры, мощность, контроллер и нагреватель определяются исполнением — точные значения приведены в таблице «Технические характеристики».

** Производитель вправе менять характеристики и комплектацию без отдельного уведомления. Перед заказом сверьте данные с менеджером.

Купить KADAMM МПТ-14-CVD

Подберём конфигурацию, пришлём коммерческое предложение и договоримся о сроках.

Запросить цену →

Конфигуратор МПТ-14-CVD

Модель · Количество · Запрос

Параметр	Описание
Артикул	МПТ-14-CVD
Производитель	КАДАММ